隨著科技的不斷發(fā)展，真空箱氦檢漏回收設(shè)備應(yīng)用技術(shù)也在不斷發(fā)展和完善。
蘇州氦檢漏儀器造成這種現(xiàn)象的主要原因有二：一是真空箱氦檢漏回收設(shè)備的應(yīng)用技術(shù)不斷對(duì)真空箱氦氣泄漏檢測(cè)回收設(shè)備提出新的要求，迫使其自我更新；另一方面，真空箱氦檢漏回收設(shè)備在真空箱氦氣泄漏檢測(cè)回收中不斷的完善。通過近半個(gè)世紀(jì)的努力，真空箱內(nèi)泄漏檢測(cè)與回收裝置的研制與上世紀(jì)40年代初期的發(fā)展大相徑庭。
真空箱氦檢漏回收設(shè)備的主要表現(xiàn)是：
(1)氦檢漏儀：各國(guó)近期推出的小型便攜式真空箱檢漏回收裝置，不僅靈敏度高，而且攜帶方便，十分方便野外作業(yè)和高空作業(yè)。
(2)高壓檢漏：檢漏口壓力可達(dá)數(shù)百個(gè)，有利于檢測(cè)大型系統(tǒng)和大型泄漏工件。
(3)高自動(dòng)化：氦峰自動(dòng)校準(zhǔn)，自動(dòng)調(diào)零，范圍自動(dòng)轉(zhuǎn)換，數(shù)據(jù)自動(dòng)處理，外接打印機(jī)。全機(jī)采用微電腦控制，具有菜單選擇功能，一鍵操作，全過程一次完成。
(4)無油干燥檢測(cè)泄漏：有些國(guó)生產(chǎn)的設(shè)備可采用干泵達(dá)到無油蒸汽效果，這為無油系統(tǒng)、晶片等半導(dǎo)體設(shè)備的泄漏檢測(cè)提供了有利條件。
(5)檢漏范圍廣：目前生產(chǎn)的設(shè)備具有廣泛的質(zhì)量，不僅能探測(cè)氦氣，而且能探測(cè)其他氣體。
蘇州氦檢漏儀器以分子泵排氣系統(tǒng)取代擴(kuò)散泵排氣系統(tǒng)，既解決了油蒸汽對(duì)質(zhì)譜室的污染，又大大促進(jìn)了儀器快速開閉。為了滿足不同的檢漏口壓力和不同靈敏度的要求，分子泵通常采用多段結(jié)構(gòu)，不同的速度。比如，可以通過改變分子泵的速度和提高泄漏探測(cè)的靈敏度來實(shí)現(xiàn)。另外，用反向擴(kuò)散方法實(shí)現(xiàn)高壓泄漏檢測(cè)，為泄漏檢測(cè)提供了良好的條件。
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